美國(guó)Siargo 氣體質(zhì)量流量傳感器 - FS4001

產(chǎn)品介紹

一、氣體質(zhì)量流量傳感器-FS4001描述：

FS4001質(zhì)量流量傳感器使用siargo專有的MEMS流量傳感器與封裝技術(shù)。該傳感器的測(cè)量范圍是0~ 30 sccm到0 ~ 1000 sccm。每個(gè)模型的流量是通過專門設(shè)計(jì)的封裝，以及智能電子產(chǎn)品，以便達(dá)到適宜的靈敏度。

該包裝盒是由化學(xué)惰性和熱穩(wěn)定的聚碳酸酯材料制成的。壓力等級(jí)較高是5BAR（73 PSI），受益于siargo獨(dú)特的MEMS芯片結(jié)構(gòu)、特殊包裝技術(shù)和堅(jiān)固耐用的傳感器外殼。
FS4001可用于廣泛的應(yīng)用范圍包括儀器（如氣相色譜質(zhì)譜法）、泄漏檢測(cè)、過程控制、氣體流量計(jì)量以及醫(yī)療應(yīng)用。FS4001需要8 ~ 24 VDC電源提供一個(gè)模擬和/或數(shù)字用戶接口。模擬輸出是線性的從0.5到4.5 VDC從0到滿刻度流量相應(yīng)。數(shù)字輸出是通過I2C輸出，RS232傳輸，RS232通信協(xié)議可以在本手冊(cè)中找到。

二、氣體質(zhì)量流量傳感器-FS4001主要特性：
1）傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
2）傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
3）在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高
4）傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
5）全量程高穩(wěn)定性
6）全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
7）低功耗
8）低壓損
9）響應(yīng)時(shí)間快

三、氣體質(zhì)量流量傳感器-FS4001典型應(yīng)用：
適用于小流量氣體質(zhì)量的流量測(cè)量。

四、氣體質(zhì)量流量傳感器-FS4001框圖:

功能框圖如下圖所示。MEMS傳感器芯片的傳感器驅(qū)動(dòng)電路供電和發(fā)送流量相關(guān)的電壓轉(zhuǎn)換器。微控制器處理英文字母表的第19個(gè)字母；

（放大、濾波等）將電壓轉(zhuǎn)換成流量。流量信號(hào)被發(fā)送通過模擬或模擬和數(shù)字格式（RS232）。